快速气相掺杂 全球焦点

(资料图)

1、 快速气相掺杂是一种掺杂剂从气相直接向硅中扩散、并能形成超浅结的快速掺杂工艺。

2、利用快速热处理过程（RTP）将处在掺杂气氛中的硅片快速均匀地加热至所需要的温度，同时掺杂剂发反生应产生杂质原子，杂质原子直接从气态转变为被硅表面吸附的固态，然后进行固相扩散，完成掺杂目的。

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